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【第一參賽人/留學人員】劉冬梅

【留學國家】英國

【技術(shù)領(lǐng)域】高端裝備與新能源汽車

【參賽屆次】第6屆

【所獲獎項】入圍

【項目簡介】

半導體高端潔凈機器人及自動化系統(tǒng)設(shè)備被廣泛運用在集成電路的多個領(lǐng)域，實現(xiàn)晶圓、LED、太陽能電池等的搬運、傳輸和校準，可應(yīng)用在刻蝕機、CVD（化學氣相沉積）、PVD（物理氣相沉積）和CMP（化學機械拋光）等整機設(shè)備形成配套。目前國內(nèi)針對8寸、12寸晶圓的半導體設(shè)備供給不足，國產(chǎn)設(shè)備占有率不足15%，主要依賴國外進口設(shè)備。半導體潔凈機器人及晶圓裝卸載設(shè)備的國產(chǎn)化將填補國內(nèi)半導體行業(yè)關(guān)鍵設(shè)備空白，徹底打破國外的技術(shù)封鎖。本項目采用了晶圓掃描系統(tǒng)、掃描算法、末端執(zhí)行器、控制器等技術(shù)，可實現(xiàn)產(chǎn)品的高精度，綜合重復定位精度達到±0.1mm；高可靠性，具有極強的傳片穩(wěn)定性；高潔凈度，搭配FFU系統(tǒng)，能夠達到行業(yè)高水平Class 1的標準。目前已申請專利30項，包含發(fā)明專利7項、軟著2項。本項目已從研發(fā)階段過渡到產(chǎn)品市場開拓階段，具備量產(chǎn)條件，近三年產(chǎn)品出貨量數(shù)量累計達1000，其中入選北京市新技術(shù)新產(chǎn)品7項，入選中關(guān)村首臺（套）重大技術(shù)裝備試驗、示范項目2項、“晶圓搬運機械手” 入選北京市智能制造關(guān)鍵技術(shù)裝備供應(yīng)商推薦目錄（2018），“半導體裝載平臺Loadport”入選北京市優(yōu)秀人才培養(yǎng)資助項目。【展開】【收起】

【成立時間】2013年01月07日

【行業(yè)領(lǐng)域】科技推廣和應(yīng)用服務(wù)業(yè)

【注冊資本】1000萬元

【企業(yè)法人】劉冬梅

【官方網(wǎng)站】https://www.rejeauto.com/

【公司地址】北京市北京經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)科創(chuàng)十四街99號33幢C棟603室

【企業(yè)簡介】

銳潔機器人是由海外留學歸國團隊創(chuàng)辦的國家高新技術(shù)企業(yè)，專業(yè)從事泛半導體行業(yè)各種晶圓搬運潔凈機器人和自動化系統(tǒng)設(shè)備的研發(fā)與生產(chǎn)（包括EFEM、Sorter、Loadport、Aligner、Loader、unloader等）。公司擁有關(guān)于機械手結(jié)構(gòu)及自動化控制和通訊方面核心專利30項，建有獨立研發(fā)實驗室和潔凈生產(chǎn)車間約1000平方米，具備完善的研發(fā)生產(chǎn)設(shè)施，與國內(nèi)多家知名集成電路芯片制造商建立了合作關(guān)系，累計為國內(nèi)客戶提供芯片制造領(lǐng)域自動化解決方案600余項。目前國內(nèi)半導體芯片設(shè)備生產(chǎn)行業(yè)主要被國外廠家壟斷，國產(chǎn)設(shè)備占有率較低，我司核心技術(shù)團隊人才，擁有20余年半導體行業(yè)從業(yè)經(jīng)驗，可快速的為用戶提供定制化設(shè)計生產(chǎn)。公司近兩年投入資金研發(fā)的國產(chǎn)大行程潔凈機械手、五指可變間距潔凈機械手、8寸、12寸晶圓搬運EFEM設(shè)備等產(chǎn)品都已實現(xiàn)銷售，填補了國內(nèi)關(guān)鍵產(chǎn)品空白，給公司帶來顯著經(jīng)濟效益。公司自成立以來累計實現(xiàn)銷售收入達1.3億元,已連續(xù)3年實現(xiàn)盈利,每年銷售收入翻倍增長.公司憑借專業(yè)的潔凈機械手臂和半導體自動化設(shè)備開發(fā)經(jīng)驗，不斷擴大市場份額，提升品牌影響力，致力于成為國內(nèi)半導體潔凈機器人及專用半導體自動化設(shè)備的最大產(chǎn)品服務(wù)商。【展開】【收起】